[1]吴凌慧,徐冬.一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计[J].应用科技,2018,45(04):142-146.[doi:10.11991/yykj.201709015]
 WU Linghui,XU Dong.Design of a high pressure sensor resisting high temperature and harsh environment[J].Applied science and technology,2018,45(04):142-146.[doi:10.11991/yykj.201709015]
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一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计(/HTML)
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《应用科技》[ISSN:1009-671X/CN:23-1191/U]

卷:
第45卷
期数:
2018年04期
页码:
142-146
栏目:
机电工程
出版日期:
2018-08-05

文章信息/Info

Title:
Design of a high pressure sensor resisting high temperature and harsh environment
作者:
吴凌慧 徐冬
中国电子科技集团公司 第四十九研究所, 黑龙江 哈尔滨 150001
Author(s):
WU Linghui XU Dong
China Electronics Technology Group Corporation No. 49 th Research Institute, Harbin 150001, China
关键词:
耐高温大压力有限元分析传感器SOI膜片力敏电阻条优化设计过载试验
Keywords:
high temperature resistancegreat pressurefinite element analysissensorSOI diaphragmforce sensitive resistance stripoptimal designoverload test
分类号:
TP212.12
DOI:
10.11991/yykj.201709015
文献标志码:
A
摘要:
为了解决高温恶劣环境下压力测量问题,设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)压力敏感膜片结构进行优化设计,使其能够满足恶劣环境的使用要求。通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性。
Abstract:
In order to solve the problem of pressure measurement under high temperature and harsh environment, a small volume differential pressure sensor resisting high pressure, high overload, high temperature and bad environment was designed and developed. The sensor consisting of silicon on insulator(SOI) pressure sensitive diaphragm was optimized by the finite element analysis method so that it could satisfy the application requirement in bad environment. The experiment proves that the proposed differential pressure sensor has good characteristics of resisting high temperature and harsh environment.

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期:2017-9-22。
作者简介:吴凌慧(1978-),女,高级工程师.
通讯作者:徐冬,E-mail:xudong_1114@126.com
更新日期/Last Update: 2018-09-05